리니어형 압전 스테핑 모터 스테이지
  • 높은 구동력
  • 나노 수준 정밀도
  • 높은 정지 유지력
  • 넓은 이동 범위
  • 높은 해상도
  • 고진공 환경에서 사용 가능
  • 비자성 환경에서 적용 가능
제품 소개

압전 관성 모터는 스틱-슬립(stick-slip) 구동 원리를 기반으로 한 선형 운동 포지셔닝 장치로, 밀리미터 수준의 이동 범위와 나노미터 수준의 위치 정밀도를 달성할 수 있습니다.
소형화, 높은 강성 및 빠른 포지셔닝의 장점을 가지며, 고정밀 폐쇄 루프 센서를 통합하여 나노-마이크로 변위 제어 시스템에 매우 적합합니다.

2D 도면
외형도/치수
기술 사양
항목PMNL-A02-20단위허용 오차
작동 축X--
운동 및 위치 조정---
이동 범위20mm-
X축 이동 범위 (아날로그 모드)±2μm-
센서---
개방 루프 해상도1nm-
폐쇄 루프 해상도-nm-
속도0.6mm/s최대 값
최대 구동 주파수150Hz±20%
기계적 특성---
구동력20N최대 값
유지력30N최소 값
구동 특성---
작동 전압-250~+250V-
기타---
작동 온도 범위0~55°C-
재질스테인리스 스틸, 티타늄 합금--
질량255g±5%
케이블 길이2m±0.05m
모터 인터페이스Sub-D15 수 커넥터--
응용분야
  • 리소그래피 렌즈의 정밀 조정
  • 정밀 전자 현미경 조정
  • 비자성 환경
  • 가열되지 않는 진공 환경
  • 정밀 반도체 장비
  • 정밀 의료 테스트 장비
  • 우주 과학

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대표이사 윤대중 전재춘

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