리니어형 압전 스테핑 모터 스테이지
- 높은 구동력
- 나노 수준 정밀도
- 높은 정지 유지력
- 넓은 이동 범위
- 높은 해상도
- 고진공 환경에서 사용 가능
- 비자성 환경에서 적용 가능
압전 관성 모터는 스틱-슬립(stick-slip) 구동 원리를 기반으로 한 선형 운동 포지셔닝 장치로, 밀리미터 수준의 이동 범위와 나노미터 수준의 위치 정밀도를 달성할 수 있습니다.
소형화, 높은 강성 및 빠른 포지셔닝의 장점을 가지며, 고정밀 폐쇄 루프 센서를 통합하여 나노-마이크로 변위 제어 시스템에 매우 적합합니다.
| 항목 | PMNL-A02-20 | 단위 | 허용 오차 |
|---|---|---|---|
| 작동 축 | X | - | - |
| 운동 및 위치 조정 | - | - | - |
| 이동 범위 | 20 | mm | - |
| X축 이동 범위 (아날로그 모드) | ±2 | μm | - |
| 센서 | - | - | - |
| 개방 루프 해상도 | 1 | nm | - |
| 폐쇄 루프 해상도 | - | nm | - |
| 속도 | 0.6 | mm/s | 최대 값 |
| 최대 구동 주파수 | 150 | Hz | ±20% |
| 기계적 특성 | - | - | - |
| 구동력 | 20 | N | 최대 값 |
| 유지력 | 30 | N | 최소 값 |
| 구동 특성 | - | - | - |
| 작동 전압 | -250~+250 | V | - |
| 기타 | - | - | - |
| 작동 온도 범위 | 0~55 | °C | - |
| 재질 | 스테인리스 스틸, 티타늄 합금 | - | - |
| 질량 | 255 | g | ±5% |
| 케이블 길이 | 2 | m | ±0.05m |
| 모터 인터페이스 | Sub-D15 수 커넥터 | - | - |
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