직교 설계가 적용된 통합 5축 스테이지
프리로딩 피에조 액추에이터는 피에조 스택 액추에이터를 위한 보호 장치로, 스택 보호와 쉬운 설치 역할을 합니다.
동시에, 이 액추에이터는 내부적으로 피에조 전기 세라믹에 미리 압력을 가하여 일정량의 장력과 변위 출력을 조정합니다.
프리로딩 피에조 액추에이터는 내부적으로 변형 측정기를 통합하여 폐쇄 루프 제어를 구현할 수 있습니다.
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