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Cassette Loader
Wafer Loader : Cassette Loader
- 소경 Wafer(12” 이하) 카세트 로딩을 위한 장치
- 카세트 로딩 후 외력이 가해지지 않도록 Door 구성
- 카세트 안착감지센서 포함 (사이즈 별 구성)
- Wafer 돌출 감지센서 포함
- Wafer 4”,6”,8” 혼용 가능 (Optional)
- Door 자동 개폐, 잠금 장치 추가 가능 (Optional)
