HS1000 Series

이 스테이지는 2차원 기계식 가이드와 공기 베어링 가이드로 구성되어 있으며, 기계식 가이드와 공기 베어링 가이드의 장점을 모두 갖추고 있습니다.

XV 평면에서 기계식 가이드는 높은 가속도를 견딜 수 있는 높은 강성을 제공하며, 높은 양방향 반복 정밀도를 보장합니다.

한편, 공기 베어링은 전체 이동 범위에서 우수한 동적 평탄도를 보장합니다.

이 스테이지는 모듈화 및 직교 설계를 채택하여 XYY 수평 H형 운동 모듈 위에 MZT 표준 모듈을 통합하여

X, Z, T 축에서 높은 정확도와 높은 강성의 선형 운동 및 회전 운동을 실현하며, 4자유도(freedom)를 제공합니다.

MZT는 대형 스트로크 자기부상 중력 보상 기술을 사용하여 수직 모터의 부하를 줄이고 수직 운동 성능과 수명을 크게 향상시킵니다.

XV 수평 H형 운동 모듈은 중력 중심과 모터 힘의 정렬 설계 및 경량화 설계를 채택하여 고정밀 기계식 가이드에 대한 편심 충격을 줄이고

운동 시스템의 신뢰성 및 수명을 향상시키며, Y1 및 Y2 모터에 대한 약간의 편향 보정도 가능하게 합니다.

이 플랫폼은 또한 시스템 성능을 추가로 향상시키기 위해 능동 감쇠 시스템 모듈 위에 통합될 수 있습니다.

X/Y 축

고강도, 고정밀 가이드 케이블 방해력의 일관된 설계 전체 스트로크에 걸쳐 뛰어난 다이나믹 평탄도를 제공하는 고성능 에어 베어링 가이드

Z축

높은 위치 정확도를 위한 수직 자기부상 중력 보정

높은 강성, 고정밀 가이드

초박형, 경량 및 모듈화 설계된 디자인

최대 30mm의 수직 기계식 이동

T축

360° rotation, 튜브 포장 없음

12', 8', 6' 웨이퍼 적용 가능

lSOrpm까지의 회전 속도