VSL -FSTD
  • Wafer 12”이상(FOUP)의 Door 개폐 기능
  • Wafer 전 공정 설비의 로딩/언로딩 기능을 하는 기본 장비

※ Door에 의해 밀폐, 소경 Wafer 카세트는 FOUP이 아님

제품 소개

  • Wafer 12”이상(FOUP)의 Door 개폐 기능
  • Wafer 전 공정 설비의 로딩/언로딩 기능을 하는 기본 장비

※ Door에 의해 밀폐, 소경 Wafer 카세트는 FOUP이 아님

제품 사양

(주)다우로봇

대표이사 윤대중 전재춘

본사 충청남도 천안시 서북구 백석공단1로 10, M동 417호(백석동, 천안미래에이스 하이테크시티)

전화 041-412-8801~09   팩스 041 412-8800/8810   대표메일 dawoo-fa@hanmail.net

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주식회사 다우로봇 대표 윤대중 전재춘

주소 경충청남도 천안시 서북구 백석공단1로 10, M동 4층 417호

 대표메일 dawoo-fa@hanmail.net

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