VSW Series

클린룸 대응 VSW 시리즈 Single/Double

  • 앱솔루트 서보모터를 사용하며 정확하고 안정성이 높은 시리즈
  • 다양한 타입의 그립퍼 적용으로 여러 작업환경에서 워크 반송에 적합한 시리즈
제품 소개

  • 정밀한 동작과 최적화 된 모션으로 신속하고 안전한 웨이퍼 핸들링 가능

  • 설비의 설치 환경에 따라 베이스타입, 플랜지 타입 선택 가능

  • 높은 신뢰성과 유지 보수 편의성을 제공

  • 커버를 열지 않고 엔코더 베터리 교체 가능

  • 직관적인 티칭팬던트 UI 구성

특징
Robot
SpecificatioinIndex WTR SingleIndex WTR Double
ModelVSW-S3160-300-AV-MVSW-D4160-300-AV-M
Handling Object8 inch Wafer(STD)12 inch Wafer(STD)
Grip MethodVacuum grip(STD)Vacuum grip(STD)
Min Rotate Dia.Ø 450mmØ 570mm
Gripper Reach525mm580mm
Configuration of AxisR / T / Z (3 Axis)R1 / R2 / T / Z (4 Axis)
Coordinate SystemCylindricalCylindrical
RepeatabilityWithin ±0.1mmWithin ±0.1mm
CleanlinessISO Class 2ISO Class 2
Axis
R Axis T Axis Z Axis
Stroke
400mm (Single) 445mm (Double)
340deg
300mm
Speed
200deg/s (1117mm/s)
400deg/s
500mm/s
Utility
Power Source
Vacuum Pressure
CDA Pressure
AC200/230V ±10%
≤ - 80 kPa
NA
Others
Mapping
Mount Type
Weight
Included (thru-beam)
Bottom Mount
Approx. 32kg
Controller
Model
VRC4400
Interface
RS232C ethernet and parallel photo I/O


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